一、校準(zhǔn)前的準(zhǔn)備

1. 設(shè)備與環(huán)境要求

• 標(biāo)準(zhǔn)裝置：需使用精度高于被校真空計(jì)的儀器，如麥克勞德真空計(jì)（絕對真空計(jì)，適用于 10?1~103 Pa）、電容薄膜真空計(jì)（高精度相對真空計(jì)，適用于 10??~10? Pa）或動(dòng)態(tài)流量法校準(zhǔn)系統(tǒng)（寬量程）。

• 校準(zhǔn)真空系統(tǒng)：包括真空室、真空泵組（能覆蓋被校真空計(jì)的測量范圍，如旋片泵 + 擴(kuò)散泵）、閥門（控制壓力）、恒溫裝置（減少環(huán)境溫度影響）。

• 環(huán)境條件：溫度控制在（23±2）℃，相對濕度≤65%，避免振動(dòng)和強(qiáng)電磁干擾（防止加熱絲或電路受影響）。

2. 被校真空計(jì)的檢查

• 外觀檢查：確認(rèn)加熱絲、熱電偶等元件無損壞，接線牢固。

• 通電預(yù)熱：按說明書要求預(yù)熱（通常 30 分鐘以上），確保電路穩(wěn)定。

二、校準(zhǔn)方法（靜態(tài)比對法為主）

1. 抽真空至校準(zhǔn)下限

• 啟動(dòng)真空泵組，將校準(zhǔn)真空室抽至被校真空計(jì)的zui低測量壓力（如 10?1 Pa），穩(wěn)定 30 分鐘以上，確保系統(tǒng)壓力均勻。

2. 設(shè)置校準(zhǔn)壓力點(diǎn)

• 從低壓力到高壓力（或反之），通過微調(diào)閥門向真空室引入惰性氣體（通常用氮?dú)猓苊鈿怏w種類對熱傳導(dǎo)的影響），設(shè)置至少 5 個(gè)均勻分布的校準(zhǔn)點(diǎn)（覆蓋被校真空計(jì)的全量程，如 10?1 Pa、1 Pa、10 Pa、100 Pa、1000 Pa）。

• 每個(gè)壓力點(diǎn)需穩(wěn)定 10~15 分鐘，待標(biāo)準(zhǔn)裝置和被校真空計(jì)讀數(shù)均穩(wěn)定后記錄數(shù)據(jù)。

3. 數(shù)據(jù)記錄與處理

• 對每個(gè)壓力點(diǎn)，記錄標(biāo)準(zhǔn)裝置的壓力值（P 標(biāo)）和被校真空計(jì)的輸出值（如電阻、電動(dòng)勢或顯示壓力 P 測）。

• 計(jì)算誤差：每個(gè)點(diǎn)的絕對誤差 = P 測 - P 標(biāo)，相對誤差 =（P 測 - P 標(biāo)）/P 標(biāo) ×100%。

• 繪制校準(zhǔn)曲線：以 P 標(biāo)為橫坐標(biāo)，P 測為縱坐標(biāo)，或建立輸出信號(hào)與 P 標(biāo)的函數(shù)關(guān)系（如線性擬合、多項(xiàng)式擬合）。

4. 校準(zhǔn)結(jié)果驗(yàn)證

• 選取 1~2 個(gè)非校準(zhǔn)點(diǎn)（如 5 Pa、500 Pa）進(jìn)行驗(yàn)證，若誤差在允許范圍內(nèi)（通常 ±10%~±20%，根據(jù)精度要求），則校準(zhǔn)有效。

三、特殊注意事項(xiàng)

1. 氣體種類的影響

• 熱傳導(dǎo)真空計(jì)的測量結(jié)果與氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)相關(guān)（如氫氣、氦氣的熱傳導(dǎo)系數(shù)遠(yuǎn)高于氮?dú)猓?，校?zhǔn)需使用與實(shí)際工作中相同的氣體，或在非氮?dú)猸h(huán)境下進(jìn)行修正（通過氣體種類修正系數(shù)）。

2. 環(huán)境溫度補(bǔ)償

• 環(huán)境溫度變化會(huì)影響加熱絲的散熱（如室溫升高時(shí)，熱源與環(huán)境的溫差減小，可能導(dǎo)致讀數(shù)偏低），校準(zhǔn)系統(tǒng)需配備恒溫裝置，或在校準(zhǔn)曲線中引入溫度補(bǔ)償系數(shù)。

3. 定期校準(zhǔn)

• 熱傳導(dǎo)真空計(jì)的加熱絲可能因老化、污染（如真空系統(tǒng)中的油蒸氣附著）導(dǎo)致電阻變化，建議每 6~12 個(gè)月校準(zhǔn)一次；若用于關(guān)鍵工藝（如食品真空包裝的質(zhì)量控制），校準(zhǔn)周期可縮短。

四、校準(zhǔn)后的處理

• 生成校準(zhǔn)報(bào)告：包含校準(zhǔn)點(diǎn)數(shù)據(jù)、誤差范圍、校準(zhǔn)曲線、環(huán)境條件等信息。

• 對于誤差超標(biāo)的真空計(jì)，可通過儀器自帶的校準(zhǔn)功能（如調(diào)整放大電路的增益）修正，或判定為不合格并更換。